清洗機(jī)

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  • 知識(shí)分享 spm清洗液配制方法 芯矽科技
    SPM清洗液（硫酸-過氧化氫混合物，H?SO?/H?O?）是半導(dǎo)體制造中常用的強(qiáng)氧化性清洗液，主要用于去除晶圓表面的有機(jī)物、金屬污染和氧化物。以下是其配制方法及關(guān)鍵注意事項(xiàng)： 一、SPM清洗液配方 基礎(chǔ)成分 濃硫酸（H?SO?）：98%濃度，提供強(qiáng)酸性和脫水性，促進(jìn)氧化反應(yīng)。 過氧化氫（H?O?）：30%濃度，作為氧化劑，分解有機(jī)物并氧化金屬雜質(zhì)。 去離子水（DI Water）：用于稀釋，調(diào)節(jié)溶液

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