檢方介入，三星尖端半導體設備遭“內鬼盜賣”給中企

5月17日，據(jù)韓媒KoreaHerald報道，三星電子子公司及其半導體設備供應商Semes的前雇員因涉嫌參與技術盜竊而被起訴。

圖：Semes的晶圓清洗機

芯片大師曾報道交期30個月！曝多家晶圓廠緊急赴海外“催貨”，隨著各大設備廠交期大幅延長，市場上的二手半導體設備價格迎來暴漲。

根據(jù)水原地方檢察廳的說法，韓國最大半導體設備制造商、三星供應商Semes的兩名前雇員涉嫌參與向一家未公開的中國實體出售關鍵的晶圓清洗機，而該設備據(jù)信為來自Semes的尖端晶圓清洗機。

在涉案的四名Semes員工中，一位被檢察官以違反《防止不正當競爭和商業(yè)秘密保護法》的罪名起訴，調查尚在進行中。據(jù)報道，被指控“技術盜竊”的人通過出售設備獲得了大約800億韓元（約6260萬美元）的回報。

圖：晶圓廠產線

這些機器被認為是三星尖端半導體芯片技術的關鍵。在芯片制造過程的最初階段，使用清洗設備保持晶圓的清潔至關重要。隨著晶圓變得更薄，該工藝需要更復雜的方法。

而克服技術障礙的方法之一是讓設備使用超臨界流體狀態(tài)的二氧化碳來清潔晶圓，與使用其他流體（如超純水）進行清潔相比，這可以減少對晶圓的損壞。

據(jù)悉，Semes是世界上第一家開發(fā)該技術的公司，搭載該技術的晶圓清洗機器被獨家供應給三星電子，專門用于存儲芯片、處理器芯片和晶圓代工業(yè)務。

三星在Semes擁有超過90%的股份，Semes成立于1993年的企業(yè)，是目前韓國最大的半導體設備商，主要從事半導體前端核心工序設備的生產。

而最近一兩年，該公司的蝕刻設備開始取代日本東京電子，大規(guī)模應用于三星的V-NAND閃存工廠，尤其是100層以上的高端產品。