芯耀
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5月27日，“中微公司2024年度暨2025年第一季度業(yè)績說明會(huì)&媒體見面會(huì)”在上海臨港召開，芯智訊也受邀參與了此次活動(dòng)。在會(huì)議期間，中微董事長尹志堯詳細(xì)介紹了中微公司自身的發(fā)展戰(zhàn)略和產(chǎn)品布局。
半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)并不“內(nèi)卷”，歡迎良性競爭
在今年3月的SEMICON China 2025展會(huì)上，北方華創(chuàng)正式宣布進(jìn)軍離子注入設(shè)備市場，并發(fā)布首款離子注入機(jī)Sirius MC 313。此舉標(biāo)志著北方華創(chuàng)正在半導(dǎo)體核心裝備的平臺(tái)化戰(zhàn)略布局上又邁出了重要一步，基本覆蓋了除光刻之外的所有半導(dǎo)體前道制造設(shè)備。與此同時(shí)，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備新秀新凱來也在SEMICON China 2025展會(huì)期間，更是一口氣發(fā)布了6大類31款半導(dǎo)體設(shè)備新品。
顯然，這兩家半導(dǎo)體設(shè)備廠大商的平臺(tái)化發(fā)展戰(zhàn)略也將進(jìn)一步加劇國內(nèi)的半導(dǎo)體設(shè)備市場的競爭。也有業(yè)內(nèi)人士認(rèn)為，這將導(dǎo)致國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備市場更加的“內(nèi)卷”。
對(duì)此，尹志堯認(rèn)為，從產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)律來看，一個(gè)行業(yè)一定是開始很多的同類企業(yè)，然后再慢慢集中的，不管是否有政策推動(dòng)，它都自然會(huì)發(fā)生的。當(dāng)然中國政府最近幾年用了很多新的政策來鼓勵(lì)合并。但是，相比芯片設(shè)計(jì)（已有數(shù)千家芯片設(shè)計(jì)企業(yè)）和晶圓制造業(yè)（國內(nèi)也有上百條的晶圓制造產(chǎn)線），設(shè)備產(chǎn)業(yè)內(nèi)卷程度并不高。
在尹志堯看來，內(nèi)卷其實(shí)有兩種，一種叫自由競爭，這是不可避免的，任何一個(gè)產(chǎn)業(yè)都是如此。當(dāng)年他在硅谷時(shí)，全球做刻蝕/薄膜設(shè)備的廠商有40多家?，F(xiàn)在國內(nèi)也這樣，做刻蝕/薄膜設(shè)備的企業(yè)加在一塊也有幾十家公司了，這是產(chǎn)業(yè)發(fā)展的必然趨勢(shì)，這個(gè)叫正常的自由競爭，不能叫內(nèi)卷。而另外一種內(nèi)卷是惡性競爭，這是一定要禁止的。
目前國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備公司比較成熟的也就是30個(gè)公司，其中有十幾個(gè)公司上市了，另外十幾家也在積極推動(dòng)上市，但是這個(gè)情況并不是內(nèi)卷，因?yàn)樵O(shè)備門類多，未來經(jīng)過發(fā)展和競爭以后，通常會(huì)遵循兩個(gè)半原則，即一定有一兩個(gè)體量較大的平臺(tái)型公司，和一些在各自領(lǐng)域發(fā)展很好的小型設(shè)備公司，這個(gè)情況下，中微當(dāng)然盡力成為頭部平臺(tái)型公司。
尹志堯指出，他非常欣喜的看到，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的快速發(fā)展，也尊重和認(rèn)可競爭對(duì)手所取得的長足進(jìn)步。 “但是我們的打法有點(diǎn)不一樣，我們必須要靠自己的力量把這個(gè)雪球滾大，所以中微的發(fā)展歷史來看，我們是按照我們的特點(diǎn)來發(fā)展，就一步步穩(wěn)扎穩(wěn)打，步步為營，快速的同時(shí)也保證高質(zhì)量發(fā)展。到現(xiàn)在這個(gè)時(shí)候，已經(jīng)到了可以迅速擴(kuò)大，所以我們才開始往平臺(tái)型公司發(fā)展?！?/p>
“剛剛有提到友商也在往平臺(tái)型公司發(fā)展，我們非常歡迎競爭，也會(huì)共同發(fā)展。這樣有那么兩三個(gè)平臺(tái)型公司在中國，我想政府對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)就可以放心，業(yè)界也可以放心，因?yàn)椴豢赡苤豢恳粋€(gè)公司?！币緢蛘f。
差異化競爭策略：定位高端，填補(bǔ)薄弱環(huán)節(jié)
不同于其他設(shè)備廠商的定位，尹志堯表示：“中微的目標(biāo)就是做高端設(shè)備，我希望我們是集中資源來做最高端的最關(guān)鍵的設(shè)備，同時(shí)填補(bǔ)薄弱環(huán)節(jié)，承擔(dān)這個(gè)社會(huì)責(zé)任?！?/p>
1、從刻蝕到薄膜
尹志堯告訴芯智訊，在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，價(jià)值量最高、難度最高的無疑的光刻機(jī)，其次最大宗最難做的就是刻蝕設(shè)備。所以，中微在過去20年來的大部分的投資都是放在了刻蝕設(shè)備上。
據(jù)介紹，在過去的20年間，中微公司共計(jì)開發(fā)了3代、18款刻蝕機(jī)產(chǎn)品。從2019年至2024年，中微公司的刻蝕設(shè)備收入以年均超過50%的速度快速成長?？涛g設(shè)備貢獻(xiàn)的銷售額占比最高占了全公司銷售額的80%以上，并且在部分客戶產(chǎn)線做到了較高的市占率。
值得一提的是，雖然中微做ICP（低能等離子體刻蝕機(jī)）設(shè)備只有不到10年，但是進(jìn)展非常快，近4年增速都超過了100%，目前ICP設(shè)備貢獻(xiàn)的訂單量也已經(jīng)接近了做了20年的CCP（高能等離子體刻蝕機(jī)）設(shè)備。
從產(chǎn)品精度來看，中微的ICP刻蝕機(jī)的加工精度已經(jīng)達(dá)到100皮米以下水平，雙臺(tái)刻蝕機(jī)實(shí)現(xiàn)原子、亞原子水平刻蝕控制，也達(dá)到全球領(lǐng)先水平。在面向存儲(chǔ)領(lǐng)域所要求的高深寬比的深孔刻蝕方面，中微公司已經(jīng)實(shí)現(xiàn)90:1的深孔刻蝕，并正在突破100:1的深孔刻蝕，而目前業(yè)界主流量產(chǎn)所采用的刻蝕機(jī)的深寬比還在60:1。
尹志堯表示，“可以很自豪地講，在各種刻蝕應(yīng)用領(lǐng)域，我們基本可以全面覆蓋，包括成熟及先進(jìn)邏輯器件、閃存、動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器、特殊器件等，并且已經(jīng)有95%到99%的應(yīng)用都有了批量生產(chǎn)的數(shù)據(jù)或客戶認(rèn)證的數(shù)據(jù)。”
在把刻蝕設(shè)備做好的同時(shí)，中微也自然而然的進(jìn)入到薄膜沉積設(shè)備領(lǐng)域，因?yàn)榭涛g設(shè)備也需要研究怎么去刻這些薄膜材料。
因此，我們可以看到，最近的幾年，中微開始越來越多的投入到了薄膜設(shè)備的研發(fā)上，因?yàn)楸∧さ姆N類非常多，所以現(xiàn)在薄膜設(shè)備的研發(fā)投入和刻蝕設(shè)備已經(jīng)是旗鼓相當(dāng)了。
雖然薄膜的種類非常多，但是中微的進(jìn)展非?？欤瑥淖畛醯腗OCVD（有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積）設(shè)備，到2024年出貨爆發(fā)的LPCVD（低壓化學(xué)氣相沉積）設(shè)備，再到EPI（外延生長）設(shè)備和ALD（原子層沉積）設(shè)備等，基本實(shí)現(xiàn)了覆蓋。
據(jù)介紹，2024年，中微公司 LPCVD設(shè)備實(shí)現(xiàn)首臺(tái)銷售，全年設(shè)備銷售額約 1.56 億元，且?LPCVD設(shè)備累計(jì)出貨量已突破 150 個(gè)反應(yīng)臺(tái)，ALD設(shè)備已進(jìn)入市場并獲得重要客戶的重復(fù)性訂單，EPI設(shè)備已順利進(jìn)入客戶端量產(chǎn)驗(yàn)證階段。此外，在 Micro-LED 和高端顯示領(lǐng)域的 MOCVD 設(shè)備開發(fā)上取得了良好進(jìn)展， 并積極布局用于碳化硅和氮化鎵基功率器件應(yīng)用的市場。
至于薄膜設(shè)備的開發(fā)和市場化進(jìn)度為何如此之快，尹志堯解釋稱，在10多年前中微一般需要3~5年來開發(fā)一個(gè)新產(chǎn)品，導(dǎo)入客戶到完成驗(yàn)證則需要更長時(shí)間。比如說MOCVD 2010年開始研發(fā)，2017年底進(jìn)入市場，2018年銷售起來，經(jīng)過2年時(shí)間才達(dá)到了很好的市場規(guī)模。所以整個(gè)周期可以說非常的長。
但是，現(xiàn)在中微開發(fā)一個(gè)新產(chǎn)品，已經(jīng)和20年前完全不一樣?，F(xiàn)在因?yàn)楹芏嗉夹g(shù)其實(shí)都已經(jīng)有了，軟件代碼包括一些硬件也是現(xiàn)成的，所以把已經(jīng)有的東西拿來組合起來，再把需要的新的東西進(jìn)行設(shè)計(jì)，這也使得中微在新產(chǎn)品的開發(fā)速度上非常的快。
同樣，對(duì)于中微來說，現(xiàn)在新產(chǎn)品做出來到進(jìn)入客戶端并開始規(guī)模采用的周期也大大縮短，而這也得益于過去20多年來中微與客戶之間的合作越來越緊密，客戶對(duì)中微的信任程度越來越高。所以，現(xiàn)在一款新產(chǎn)品做出來幾個(gè)月，客戶馬上就會(huì)用。如果中微還是像十多年那樣的一個(gè)小公司的話，很難說服客戶去采用。
“現(xiàn)在我們期望的就是這樣的速度。目前中微的薄膜產(chǎn)品規(guī)劃有40款，9款已經(jīng)完成開發(fā)，6款實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)并在大生產(chǎn)中運(yùn)轉(zhuǎn)了1年，今年還有還有7款設(shè)備開發(fā)出來，明年還有更多的設(shè)備，預(yù)計(jì)2029年完成所有的開發(fā)?！币緢蛘f道：“所以，我們很快將會(huì)把國際對(duì)中國禁運(yùn)的20多種薄膜設(shè)備全部都開發(fā)完成”。
2、進(jìn)軍高端檢測設(shè)備市場
在刻蝕與薄膜設(shè)備領(lǐng)域接連獲得成功之后，中微現(xiàn)在也開始將目光瞄向了量檢測設(shè)備領(lǐng)域。
在尹志堯看來，目前國產(chǎn)化的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)鏈在光刻機(jī)、電子束檢測、離子注入、關(guān)鍵濕法設(shè)備等方面依然是薄弱環(huán)節(jié)。其中，電子束量檢測是除了光刻機(jī)之外，難度最高的產(chǎn)品，因?yàn)樗扔幸苿?dòng)臺(tái)，還有離子源，還要有數(shù)據(jù)分析，還需要復(fù)雜的算法等。
“目前國內(nèi)有七八家企業(yè)做電子束檢測的，但是要做成世界一流的檢測設(shè)備公司很有難度。我們也有個(gè)社會(huì)責(zé)任，一定要給國家補(bǔ)短板，所以我們決定成立子公司超微來專門做電子檢測，目前形勢(shì)非常好。”據(jù)介紹，目前中微已經(jīng)組建了50人的團(tuán)隊(duì)，其中近10個(gè)都是最頂尖的專家，研發(fā)進(jìn)展順利。
3、研發(fā)大平板設(shè)備，填補(bǔ)國內(nèi)空白
除了在核心的半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域持續(xù)深耕之外，中微公司還開發(fā)全新的大平板設(shè)備（大型平板顯示制造設(shè)備），這在國內(nèi)基本也還是一個(gè)空白。而中微之所以來做大平板設(shè)備，一方面是基于現(xiàn)有技術(shù)的延伸，另一方面則是為了填補(bǔ)這個(gè)空白。
“我們相信大平板技術(shù)未來會(huì)有很多新的技術(shù)應(yīng)用，比如先進(jìn)封裝領(lǐng)域開始轉(zhuǎn)向利用玻璃基板來做面板級(jí)先進(jìn)封裝、建筑行業(yè)的智能玻璃等方面都有著潛在巨大市場空間。”尹志堯解釋道。
據(jù)了解，中微公司在2023年12月就組建了大平板設(shè)備開發(fā)團(tuán)隊(duì)，原計(jì)劃是三年做出首臺(tái)G8.6 PECVD大平板設(shè)備，結(jié)果最終用了15個(gè)月就把這個(gè)設(shè)備做了出來，并且達(dá)到了客戶要求。
尹志堯稱，實(shí)際上從開始組建團(tuán)隊(duì)，到設(shè)設(shè)計(jì)組裝完成并運(yùn)行，只用了12個(gè)月，然后又花了3個(gè)月的時(shí)間優(yōu)化調(diào)整，現(xiàn)在不僅達(dá)到了LCD面板制造的指標(biāo)，還達(dá)到了OLED面板制造的指標(biāo)，而且均勻性指標(biāo)優(yōu)于國外的競爭對(duì)手。
2035年成為全球第一梯隊(duì)的半導(dǎo)體設(shè)備公司
總結(jié)來看，經(jīng)過20多年的持續(xù)發(fā)展，目前中微公司已有的產(chǎn)品和正在開發(fā)的產(chǎn)品已經(jīng)基本完整覆蓋了刻蝕和薄膜沉積領(lǐng)域的各類設(shè)備，在檢測設(shè)備方面也即將填補(bǔ)國產(chǎn)電子束檢測設(shè)備的空白。所以，現(xiàn)在中微已經(jīng)是覆蓋了整個(gè)半導(dǎo)體制造設(shè)備的約30%設(shè)備。
除了依托于自身發(fā)展之外，中微還在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上有著廣泛的戰(zhàn)略投資。自中微上市以來，一共投資了理想萬里暉、睿勵(lì)、洪樸、博日科技、志橙等40家公司，其中還包括中芯國際、天岳先進(jìn)，拓荊科技等8家上市公司。
據(jù)尹志堯預(yù)計(jì)，今后五到十年內(nèi)，中微公司將與合作伙伴共同覆蓋60%的集成電路高端設(shè)備，包括刻蝕、薄膜及量檢測的全部設(shè)備，以及一部分濕法設(shè)備，成為一家大型的平臺(tái)式的半導(dǎo)體設(shè)備公司。
需要指出的是，在中微投資的這40個(gè)公司當(dāng)中，有一半以上都是設(shè)備零部件公司。因此，中微在自有設(shè)備的關(guān)鍵零部件的供應(yīng)上，通過自研、投資的零部件公司和其他一些國產(chǎn)設(shè)備零部件供應(yīng)商，已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了大部分的國產(chǎn)化，再結(jié)合其他一些日本、歐洲的供應(yīng)商基本實(shí)現(xiàn)了對(duì)于美系零部件的替代。
在產(chǎn)能布局方面，目前中微在上海臨港已經(jīng)有18 萬平方米的生產(chǎn)和研發(fā)基地已經(jīng)投入使用，可以支持超過300億的產(chǎn)值，同時(shí)臨港還預(yù)留了二期的用地。此外，中微還在南昌建了14 萬平方米的生產(chǎn)和研發(fā)基地，成都還計(jì)劃建設(shè)10萬平米的研發(fā)及生產(chǎn)基地暨西南總部項(xiàng)目（主要面向高端邏輯及存儲(chǔ)芯片相關(guān)薄膜沉積設(shè)備），廣東也計(jì)劃建設(shè)10萬平米的生產(chǎn)基地（主要面向平板顯示制造設(shè)備）。龐大的產(chǎn)能規(guī)劃布局，將可支持中微公司未來多年的產(chǎn)能增長需求，有助于公司產(chǎn)品付運(yùn)及銷售快速增長的達(dá)成。
在人才方面，中微公司員工數(shù)量自2016年以來，基本維持著22%的年復(fù)合增長率，截至2024年底已經(jīng)達(dá)到了2480人（目前已經(jīng)突破了2500人）。人均創(chuàng)收430萬元，達(dá)到了同類美國公司的人均投入產(chǎn)出比的2倍。
另外，得益于中微公司全員持股（上市時(shí)的750多名員工，上市后一半身價(jià)都達(dá)到了1000萬-1億元）及薪資待遇和個(gè)人發(fā)展空間上的吸引力，也吸引了很多全球頂尖人才加入中微。
據(jù)尹志堯透露，在今年一季度，中微招聘117名員工，卻有高達(dá)25000人申請(qǐng)應(yīng)聘，錄取率僅為1/200。如此高的申請(qǐng)人數(shù)和極低的錄用率也保障了中微對(duì)于優(yōu)秀人才的篩選。
“中微會(huì)堅(jiān)持三維立體生長的策略，即有機(jī)生長和外延擴(kuò)張結(jié)合的戰(zhàn)略，并購會(huì)考慮，但不會(huì)是重點(diǎn)。我們的目標(biāo)是，到2035年在規(guī)模產(chǎn)品競爭力和客戶滿意度上，成為全球第一梯隊(duì)的半導(dǎo)體設(shè)備公司，我們的目標(biāo)一定能夠達(dá)到?！币緢?qū)τ诠疚磥淼陌l(fā)展非常有信心地說道。
編輯：芯智訊-浪客劍
