離子注入機

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離子注入機是高壓小型加速器中的一種，應(yīng)用數(shù)量最多。它是由離子源得到所需要的離子，經(jīng)過加速得到幾百千電子伏能量的離子束流，用做半導(dǎo)體材料、大規(guī)模集成電路和器件的離子注入，還用于金屬材料表面改性和制膜等。2021年，中國電科離子注入機亮相第十三屆中國國際航空航天博覽會。

離子注入機是高壓小型加速器中的一種，應(yīng)用數(shù)量最多。它是由離子源得到所需要的離子，經(jīng)過加速得到幾百千電子伏能量的離子束流，用做半導(dǎo)體材料、大規(guī)模集成電路和器件的離子注入，還用于金屬材料表面改性和制膜等。2021年，中國電科離子注入機亮相第十三屆中國國際航空航天博覽會。收起

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  • 離子注入機
    離子注入機（Ion Implanter）是一種用于在半導(dǎo)體、材料科學(xué)和其他領(lǐng)域中控制材料性質(zhì)的設(shè)備。該技術(shù)通過將離子束加速并注入到固體材料表面，改變其物理、化學(xué)性質(zhì)，實現(xiàn)材料改性、摻雜、硬化等目的。離子注入機在半導(dǎo)體工業(yè)中起著關(guān)鍵作用，廣泛應(yīng)用于芯片制造、光電子器件制備、納米材料研究等領(lǐng)域。本文將探討離子注入機的定義、工作原理、應(yīng)用、優(yōu)勢。

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