電子束

• 電子束光刻機將用于芯片量產(chǎn)？

  近日，一些媒體報道了英國部署電子束光刻機相關的新聞，并號稱打破ASML的EUV技術壟斷。部分報道甚至號稱這是全球第二臺電子束光刻機，能繞過ASML。實際上當前沒有任何信息表面該電子束曝光機可以用于5nm制程的芯片量產(chǎn)的光刻環(huán)節(jié)。在這些媒體的報道中，英國似乎已經(jīng)拳打ASML，腳踢EUV了。那事實真的如此嗎？實際情況到底如何呢？

  半導體產(chǎn)業(yè)縱橫

  1768

  05/28 15:14

  光刻機 光刻技術

  
• 半導體電子束光刻、量檢測設備供應商匯總（2025）

  電子束（EB）的波長遠小于光線，所以將其應用在光刻、量檢測領域相較于傳統(tǒng)光學方法能夠明顯提升分辨率。但是由于其速度緩慢、生產(chǎn)效率低下，導致其在半導體量產(chǎn)環(huán)節(jié)的應用受限但是隨著晶體管密度增加、半導體圖形線寬越來越小，電子束工具的應用在未來會越來越多然而由于其技術門檻高且市場空間相對較小

  半導體綜研

  1398

  05/27 10:50

  半導體檢測設備 電子束

  

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