計算光刻

加入交流群
掃碼加入
獲取工程師必備禮包
參與熱點資訊討論

光刻工藝過程可以用光學(xué)和化學(xué)模型，借助數(shù)學(xué)公式來描述。光照射在掩模上發(fā)生衍射，衍射級被投影透鏡收集并會聚在光刻膠表面，這一成像過程是一個光學(xué)過程；投影在光刻膠上的圖像激發(fā)光化學(xué)反應(yīng)，烘烤后導(dǎo)致光刻膠局部可溶于顯影液，這是化學(xué)過程。計算光刻就是使用計算機(jī)來模擬、仿真這些光學(xué)和化學(xué)過程，從理論上探索增大光刻分辨率和工藝窗口的途徑，指導(dǎo)工藝參數(shù)的優(yōu)化。

光刻工藝過程可以用光學(xué)和化學(xué)模型，借助數(shù)學(xué)公式來描述。光照射在掩模上發(fā)生衍射，衍射級被投影透鏡收集并會聚在光刻膠表面，這一成像過程是一個光學(xué)過程；投影在光刻膠上的圖像激發(fā)光化學(xué)反應(yīng)，烘烤后導(dǎo)致光刻膠局部可溶于顯影液，這是化學(xué)過程。計算光刻就是使用計算機(jī)來模擬、仿真這些光學(xué)和化學(xué)過程，從理論上探索增大光刻分辨率和工藝窗口的途徑，指導(dǎo)工藝參數(shù)的優(yōu)化。收起

查看更多
  • GOA 液晶面板的電性能檢測方法及液晶激光修復(fù)機(jī)
    引言 GOA（Gate On Array）液晶面板作為新型面板技術(shù)，將驅(qū)動 IC 的晶體管集成于玻璃襯底，實現(xiàn)圖像快速刷新與節(jié)能，具備更快響應(yīng)速度和更低功耗，代表未來液晶面板技術(shù)發(fā)展方向。對其電性能檢測及故障修復(fù)技術(shù)的研究，對提升產(chǎn)品質(zhì)量與良品率意義重大。 GOA 液晶面板工作原理與電性能參數(shù) GOA 液晶面板通過在玻璃襯底集成驅(qū)動電路，控制液晶分子在電場下的方向與開合程度，實現(xiàn)圖像顯示。其電性能

正在努力加載...