全球半導(dǎo)體晶圓膜厚量測(cè)設(shè)備供應(yīng)商匯總
我第一份工作是在國(guó)內(nèi)某晶圓廠里做CVD工藝工程師,所以也接觸和使用過(guò)膜厚量測(cè)設(shè)備。當(dāng)時(shí)覺(jué)得光學(xué)膜厚量測(cè)的原理比較簡(jiǎn)單,技術(shù)難度不是很高但后來(lái)和行業(yè)專(zhuān)家交流以后,才知道真對(duì)各種類(lèi)型的薄膜,要保證量測(cè)的精度,技術(shù)上也不是那么容易。尤其是下層薄膜也是透明膜時(shí),薄膜間的界面的區(qū)分和處理也是難點(diǎn)...