latchup
一般Fabless公司設計的芯片在工程批回來之后,都會做芯片級的ESD測試和latchup等測試,對很多客戶朋友來說,有可能對latchup稍微陌生,本篇文章將簡要介紹latchup。
latchup的中文譯名為閂鎖或閂鎖效應,要想了解清楚latchup,需要先了解MOS管的結構。
1、MOS管的結構
在CMOS電路中,有NMOS 和PMOS兩種晶體管。在制作NMOS時,首先是有一個P型襯底,一般稱為P-substrate,為避免將substrate和Source混淆(因首字母一樣),經(jīng)常將P襯底稱為P-Body或P-Bulk。在P型襯底上,兩個重摻雜n區(qū)形成源端(Source)和漏端(Drain),重摻雜的多晶硅區(qū)(簡稱poly)作為柵(Gate),一層薄SiO2(簡稱柵氧)使柵與襯底隔離,而器件的有效作用就發(fā)生在柵氧化層的襯底區(qū),因為襯底電位對器件特性有很大的影響,所以MOSFET是一個四端器件(即Gate、Drain、Source、Bulk)。
關于柵氧層,因為SiO2是絕緣的,所以NMOS管的輸入阻抗Rgs是無窮大,輸入電流趨近于零?,F(xiàn)在國內(nèi)發(fā)展得如火如荼的電容隔離器,隔離柵使用的絕緣介質(zhì)也是SiO2。
在現(xiàn)代CMOS工藝中,PMOS器件做在n阱(即n-well)中,而之所以這么做,是因為在實際生產(chǎn)中,NMOS器件和PMOS器件必須做在同一襯底上,所有的NMOS器件都共享一個P襯底,而每一個PMOS可以處于各自獨立的N阱中。對于PMOS,源和漏重摻雜P型元素,導電載流子為空穴,柵源電壓足夠負,在氧化層-硅界面才會形成一個由空穴組成的反型層,從而為源和漏之間提供一個導電溝道,所以PMOS器件的閾值電壓通常是負的。
2、latchup的形成原因
如下圖所示的NMOS和PMOS器件,會寄生出Q1 PNP管和Q2 NPN 管,從圖中可以看出,每個雙極型晶體管的基區(qū)必然與另一個晶體管的集電區(qū)相連接,而且由于n阱和p襯底均有一定的電阻,所以Q1和Q2會形成一個正反饋環(huán)路。
實際上,如果有電流注入結點X使Vx上升,則Q2的Ic2增大,那么Vy=VDD-Rwell*Ic2會減小,Vy減小會導致IC1增大,進而導致Vx進一步上升。如果環(huán)路增益≥1,這種現(xiàn)象會持續(xù)下去,直至兩個晶體管都完全導通,從VDD抽取很大的電流。此時稱該電路被閂鎖。
觸發(fā)閂鎖效應的起始電流可以由集成電路中的各種原因產(chǎn)生,例如當漏端的一個大電壓擺動,會通過容性耦合向n阱或襯底注入相當大的位移電流,從而引發(fā)閂鎖效應。
閂鎖效應通常發(fā)生在大尺寸的輸出反相器的情況下,因為在這種情況下,一是這種電路容易通過晶體管較大的漏結電容向襯底注入大電流,另外一種情況,是由于在與地相連的鍵合線上,產(chǎn)生相當大的瞬態(tài)電壓,通過正偏源襯二極管向襯底注入大電流。
Latchup就是閂鎖效應,它是CMOS工藝所特有的寄生效應,是指在CMOS電路中,電源VDD和地GND之間由于寄生的NPN和PNP雙極性BJT的相互影響而產(chǎn)生一個低阻通路,低阻通路會在電源和地之間形成大電流,可能會使芯片永久性損壞。