TGV轉換板需要做哪些可靠性測試？

知識星球（星球名：芯片制造與封測技術社區(qū)，點擊加入）里的學員問：TGV轉換板在電鍍填充完金屬之后，需要怎樣驗證填充的質量呢？

TGV的可靠性實驗有哪些？

1，熱循環(huán)測試（Thermal Cycling Test）

2，有偏壓高加速壽命測試（Biased?Highly Accelerated Stress?Test）

3，直流導通性測試熱循環(huán)測試

目的：評估 Cu TGV 與玻璃之間界面在熱脹冷縮循環(huán)下的可靠性；

測試條件：

溫度范圍：-40°C 到 +125°C

循環(huán)次數(shù)：0, 500, 1000 cycles

檢測指標：

TGV與金屬布線的導通率；

TGV鏈的中位電阻值變化；

代表性結果：

即使經過1000次熱循環(huán)，TGV依然保持100%的導通率；

電阻略有上升但保持在合理范圍。

有偏壓高加速壽命測試

測試條件：

溫度：130°C，濕度：85% RH，偏壓：±5V，時間：96 小時

測試目的：

模擬極端使用環(huán)境，觀察以下潛在失效：

銅遷移→ 導致金屬橋接、電阻降低；

電解腐蝕?→ 導致金屬斷裂、可靠性下降；

介電擊穿?→ 電絕緣失效；

鈍化層/界面老化

直流導通性測試

目的：驗證多個TGV鏈之間的電氣連接完整性；方式：在做完上述兩個測試后，采用多個TGV daisy chain測試；

檢測指標：金屬填充一致性；是否有開路或短路缺陷；電阻變化是否在容忍范圍。

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